Todas las cámaras de deposición de acero inoxidable
Se incluye un juego para cubrir toda la superficie interior de la cámara de proceso
PLC tipo SIEMENS S5-95U

Bomba mecánica, Vacío en bruto: TRIVAC
Escriba: D65B
Tasa de flujo de volumen: 65 m3/h

Bomba turbomolecular de alto vacío: OERLIKON
Escriba: TURBOVAC 1000C
Presión final: 10-10 mbar
Velocidad de bombeo: 1000 l/s
Velocidad de funcionamiento: 36 000 min-1